微纳传感功能材料与器件

依托有研集团雄厚的功能材料基础与微纳加工平台工作条件，逐步形成以红外探测器、气体传感器行业应用牵引，以医疗健康、工业汽车领域传感器应用关键功能材料及核心器件的前瞻性研发布局，同时开展磁、压电、红外、拉曼等方面功能材料开发及器件探索。

实验室在环境传感器领域，聚焦MOS原理VOC、NOx气体传感器，经技术攻关和联合研发，研制出性能优良的气敏材料、集成MEMS微热板实现低功耗、小尺寸的气敏传感器，塑封形成低成本的MEMS气体传感器及检测模块。实现对VOC及毒害气体（如酒精、丙酮、氮氧化物、TVOC、氨气等）的高灵敏检测。

在高性能MEMS红外探测器领域，聚焦具体应用场景，紧密结合下游用户，开展面向医疗监护仪、医疗麻醉气体检测、二氧化碳分析仪以及工业排放、火焰探测、物联网智能硬件等领域应用的高性能热释电探测器研究。突破了超薄热释电材料的加工制备及薄膜材料可控生长关键工艺技术，实现了中红外高吸收率纳米材料的大面积图形化研究及可控制备，设计开发了集成降噪结构的电流型读出电路，最终开发出双电源单通道、单电源双通道等系列高性能热释电红外探测器，探测率2.5×108cm.Hz½/W，具有快速响应、低噪声、高探测率优点 。

实验室工业汽车领域，面向柴油车尾气监测需求，开展柴油发动机尾气检测用高性能固体电解质NOx传感器相关基础研究和工程化开发，实现从基础材料、贵金属浆料、传感器设计、电控读出电路及高可靠封装关键技术突破 。

实验室在医疗健康领域，针对细胞大小、特定液体测试环境等设计纳米线场效应传感器，利用8吋CMOS工艺生产线，搭载微流控通道制备形成均匀一致性好的硅纳米线传感器，目标检测限低至10pg/mL，用于检测细胞表面钙离子通道，免疫细胞对肿瘤细胞作用、肿瘤标志物等疾病诊断中。

MOS型VOC气体传感器、氮氧化物及NH3传感器

YSZ固体电解质氮氧化物传感器芯片（单颗、阵列）

高性能热释电红外探测器（单通道、集成参比通道）

MEMS辐射源及气敏传感器用微热板