超高纯气体纯化装置
采用活性合金作为化学吸附剂，可对H2O、O2、N2、CH4、CO、CO2等杂质气体深度脱除，纯化后气体纯度达到7N-8N，已在半导体、测试、镀膜等领域进行了应用。攻克多孔基底负载钯合金膜技术，可对除氢气外杂质气体实现脱除，实现氢气的提纯，氢通量大于20cm3（STP）/cm2ˑmin，H2/N2分离系数大于10000，可应用于半导体、燃料电池用氢气提纯、甲烷/甲醇蒸汽重整制氢提纯等领域。
开发出多个具有自主知识产权型号的惰性气体、氢气和氮气等超高纯气体纯化装置及模块化全自动氦气回收提纯及存储装置。